第1页共4页中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

2018年度自行监测开展情况年度报告一、企业基本情况中芯国际集成电路制造有限公司是在英属开曼群岛注册、总部设在中国上海、以集成电路代工为投资服务的国际化公司,也是目前国内最先进、生产规模最大、发展速度最快的集成电路芯片代工企业.
2002年,中芯国际在北京设立中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,在北京经济技术开发区建设集成电路芯片代工工厂即中芯北京,以下简称公司,为中芯国际全资子公司.
中芯北京2004年9月建成中国大陆第一条12英寸芯片生产线,目前已成为中芯国际最大的12英寸芯片生产基地.
2005开始建设中芯国际(北京)一期增资扩产项目,扩产后,批复产能规模为4.
3万片/月.
于2017年6月取得一期第二次增资扩产环境影响报告表批复,本次扩产0.
7万片/月.
目前批复产能规模达到5万片/月.
我公司2018年全年365天连续生产.
一般地,集成电路芯片制造生产工艺包括硅片清洗、热氧化、扩散、化学气相沉积(CVD)、光刻、去胶、离子注入、刻蚀、金属化、化学机械抛光(CMP)等,这些工序反复交叉,包括检测和测试在内实际达到1000左右的工艺步数.
中芯国际的废气处理设施主要有18套酸性洗涤塔,7套碱性洗涤塔和4套(3用1备)沸石转轮吸附燃烧处理器;生活废水经过化粪池/隔油池后进入A/O生化处理系统处理后排入工业废水处理系统.
工业废水处理系统包括含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、CMP废水处理系统以及中和系统等,工业废水经各自独立系统进行处理后出水水质均符合《北京市水污染物排放标准》(DB11/307-2013)中"排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值"的要求,排入北京经济技术开发区的金源经开污水处理厂.
二、监测方案的调整变化情况2013年9月25日起,我公司开始按照北京市环保局《关于国家重点监控企业公开自行监测结果的通知》进行废水排放监测结果公开,公开方案按照《中芯国际集成电路制造(北京)有限公司2018年度自行监测结果公开方案》进行.
没有调整变化.
第2页共4页三、监测情况2018年,本企业共生产365天.
其中,对企业29个废气监测点开展4次季度监测,其中18个酸性废气和3个有机废气每月开展一次监测氮氧化物、二氧化硫和颗粒物,对废水总排口监测点开展12次监测,对4个噪音监测点开展4次监测.
工业废水的pH,COD和氨氮装有在线监测设备,数据直接传至北京市环保局并公开在企业外网和自行监测公开平台上.
四、监测结果1.
废气污染物排放监测结果全年共监测废气污染物10项,包括硫酸雾、氟化物、氯气、氯化氢、氨气、非甲烷总烃、颗粒物、氮氧化物、二氧化硫、硫化氢.
2018年废气污染物监测情况项目年监测次数监测平均值mg/m3监测最大值mg/m3监测最小值mg/m3排放限值mg/m3达标率硫酸雾40.
1481.
0605100%氟化物40.
1760.
720.
063氯气40.
642.
90.
233氯化氢40.
8175.
3010氨气40.
4011.
050.
210非甲烷总烃43.
3949.
380.
620氮氧化物122.
510.
40.
37100二氧化硫121.
58.
30100颗粒物121.
9759.
2110硫化氢40.
00690.
010.
00255氨气40.
33250.
450.
22102.
废水污染物排放监测结果全年共监测废水污染物11项,其中包括氟化物、总磷、BOD、悬浮物、铜、石油类、总有机碳、总氮、阴离子表面活性剂、动植物油、车间排口总砷.
2018年废水污染物监测情况项目年监测次数监测平均值mg/L监测最大值mg/L监测最小值mg/L排放限值mg/L达标率氟化物124.
6186.
832.
5710100%生化需氧量1221.
8555.
48.
7300悬浮物1259.
7511426400铜120.
260.
58101总磷120.
250.
40.
078第3页共4页石油类120.
0280.
21010总有机碳1227.
8862.
51.
9150总氮1223.
138.
416.
270阴离子表面活性剂120.
0350.
165015动植物油120.
30750.
74050车间排口总砷120.
00240.
008300.
13.
厂界噪音监测结果全年共监测厂界噪音4次,达标率为100%.
2018年噪音监测情况类型年监测次数监测平均值dB监测最大值dB监测最小值dB排放限值dB达标率昼间457.
76635165100%夜间451.
555449.
7554.
周边环境质量影响状况监测结果NA五、污染物排放量情况1.
全年废气污染物排放量2018年我公司工业废气排放量590450.
256万标立方米,全部经过环保设施处理合格后排放.
我公司委托谱尼测试集团股份有限公司和北京华测北方检测技术有限公司进行日常监测及接受开发区环保局监督性监测,监测结果均正常.
废气污染物排放量见下表2018年废气污染物排放量项目年排放量:吨备注二氧化硫6.
85为了和环境统计年报保持统一,计算方法采用排污系数法计算氮氧化物12.
19烟(粉)尘9.
94挥发性有机物3.
27氯气2.
78采用监测数据计算硫酸雾0.
53氯化氢2.
92氟化物0.
73氨气0.
26硫化氢0.
0000029第4页共4页2.
全年废水污染物排放量2018年我公司废水排放量2,872,317吨,全部排放至北京经济技术开发区金源经开污水处理厂.
废水污染物排放量见下表2018年废水污染物排放量项目年排放量:吨备注化学需氧量54.
20为了和环境统计年报保持统一,计算方法采用排污系数法计算,为最终排入环境的量氨氮1.
13总氮31.
69总磷0.
36石油0.
06生化需氧量12.
46悬浮物6.
51阴离子表面活性剂0.
26动植物油0.
30氟化物12.
04因污水处理厂未监测此三项,故采用本公司排放口监测浓度计算铜0.
67总有机碳72.
643.
固体废弃物的类型、产生数量,处置方式、数量以及去向我公司固体废弃物大致可分为生活垃圾、一般可回收废弃物和工业废弃物.
其中,生活垃圾交予北京新洁环卫服务有限公司进行处置;可回收废弃物交予北京红雨兴旺有限公司进行回收;2018年我公司共产生163.
75吨一般可回收固体废物,2018年我公司共产生危险废弃物2367.
14吨,其中2341.
79吨分别交予由北京市环保局核定资格的危险废弃物处置单位进行处置,25.
35吨废硝酸交予陕西中环信环保科技有限公司.