设备浙江icp

浙江大学微纳中心程志渊浙江大学微纳中心主任信电学院微纳电子所所长浙江大学微纳中心6个学院/学科:信电,光电,电气,物理,材料,机械超净间面积:1200平方米现有实验室:400平方米,用户:超过100个新建实验室:800平方米完整的微纳加工能力:各种热工艺,深亚微米光刻、湿法/干法刻蚀、半导体/金属薄膜沉积等集成电路、微纳电子器件、微机电系统、功率器件及电能变换、量子通讯、柔性/可穿戴电子、生物芯片、太阳能光伏、石墨烯及二维材料器件等设计效果图现有超净间:400平米1.
5微米图型加工能力金属薄膜沉积、氧化物薄膜沉积、硅基薄膜沉积和刻蚀,但缺乏高洁净度工艺,1微米以下图型加工能力,化合物半导体,非金属薄膜加工能力等.
现有设备工艺能力基础微纳加工工艺定位准入衬底类型:Si,Ge,SOI,SiC,玻璃,Sapphire,铁电,压电,陶瓷,聚合物禁入:生物活体,剧毒品现有设备光刻,刻蚀,成膜,热处理,形貌观察,IV特性测试柔性电子/MEMS/生物芯片/光波导/无源光器件/基础光电/二维材料及器件新建超净间:800平米深亚微米光刻、电子束直写、纳米压印、非金属薄膜工艺、金属/化合物刻蚀、量子超导器件工艺、CMOS前端工艺、Ⅲ-V薄膜生长等热氧化、退火、扩散、RTP、外延、EBL、光刻机、纳米压印、溅射、镀膜、RIE、CVD、ALD、ICP、FIB、等基础能力.
微纳中心的用户群信电系(12个课题组)1材料系(10个课题组)2机械系(3个课题组)3光电系(2个课题组)4航空航天(2个课题组)5化工系(2个课题组)6物理系(2个课题组)7生仪系(1个课题组)8高分子(1个课题组)9北京大学(1个课题组)10拟购置设备:ICP设备信息:型号/品牌:SENTECHSI500尺寸:约1350*2230*2000(mm)最大功率:约21KW拟购置设备:Stepper设备信息:型号/品牌:NikonNSR1755I7A尺寸:1800*1500*2300(mm)最大功率:约2KW拟购置设备:E-beamWriter设备信息:型号/品牌:JEOLJBX-6300FS/Raith尺寸:约2100*1200*2100(mm)最大功率:约3KW拟购置设备:LPCVD设备信息:型号/品牌:SVCSSVFUR-ALH2尺寸:3900*2088*2856(mm)最大功率:约45KW拟购置设备:Sputter设备信息:型号/品牌:Lesker尺寸:约2500*1500*1500(mm)最大功率:约7KW拟购置设备:RIE设备信息:型号/品牌:OxfordPlasmalab400尺寸:760*1830*1700(mm)最大功率:约22KW